光阻,亦稱為光阻劑,是一個用在許多工業制程上的光敏材料。像是光刻技術,可以在材料表面刻上一個圖案的被覆層。光阻有兩種,正向光阻和負向光阻,正向光阻是光阻的一種,其照到光的部分會溶于光阻顯影液,而沒有照到光的部分不會溶于光阻顯影液。
負向光阻是光阻的一種,其照到光的部分不會溶于光阻顯影液,而沒有照到光的部分會溶于光阻顯影液。光阻通常使用在紫外光波段或更小的波長。
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