甲烷:是結構最簡單的碳氫化合物。廣泛存在于天然氣、沼氣、煤礦坑井氣之中,是優質氣體燃料,也是制造合成氣和許多化工産品的重要原料。從分子的層面上來說,甲烷是一種比二氧化碳更加活躍的溫室氣體,但它在大氣中數量較少。
矽烷:為一種提供矽組分的氣體源,可用于制造高純度多晶矽、單晶矽、微晶矽、非晶矽、氮化矽、氧化矽、異質矽、各種金屬矽化物。因其高純度和能實現精細控制,已成為許多其他矽源無法取代的重要特種氣體。
鑒别甲烷和甲矽烷方法:甲烷與氧氣反應生成二氧化碳和水,則甲矽烷與氧氣反應生成二氧化矽和水。
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