pet材料刻蝕是激光通過石英透鏡聚焦後,照射在置于真空室内的pet膜片上,膜片可以轉動。被激光照射後生成的産物由四極質譜(英國SXP300型)檢側,同時用一個基闆來沉積固體産物。XeCl準分子激光器輸出波長為308nm,脈寬10ns,單脈沖能量40-110mJ可調。聚苯醚酷全稱聚對苯二甲酸乙二醉酌,簡稱pet,激光刻蝕高分子膜的研究内容之一是每個激光脈沖刻蝕膜層的深度。
pet是乳白色或淺黃色高度結晶性的聚合物,表面平滑而有光澤。耐蠕變、耐抗疲勞性、耐磨擦和尺寸穩定性好,磨耗小而硬度高,具有熱塑性塑料中最大的韌性:電絕緣性能好,受溫度影響小,但耐電暈性較差。無毒、耐氣候性、抗化學藥品穩定性好,吸水率低,耐弱酸和有機溶劑,但不耐熱水浸泡,不耐堿。
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