擴散分離是使待分離的氣體混合物流入裝有擴散膜(分離膜)的裝置來得到富集和貧化的兩股流的同位素分離方法。基本原理是在分子間的相互碰撞忽略不計的情況下,氣體混合物中質量不同的氣體分子(例如235UF6和238UF6)的平均熱運動速率與其質量二次方根成反比。當氣體通過擴散膜時,速率大的輕分子(235UF6)通過的幾率比速率小的重分子(238UF6)的大。
對于六氟化鈾氣體,氣體擴散法的理想單級濃縮系數為4.29×10-3。在實際擴散機中,濃縮系數遠不能達到理想值,70年代末80年代初,最高水平可達2×10-3。由于氣體擴散法的一次分離系數很小,在生産中需要把很多級按一定方式連接成級聯。簡單串聯級聯見通過膜後的氣體(精料)送入前一級,未通過膜的氣體(貧料)送入後一級,鈾235逐級加濃。
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