真空泵可以定義為:利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。
真空泵可分為兩種類型,即氣體傳輸泵和氣體捕集泵。
氣體傳輸泵的工作原理:使氣體不斷的吸入和排出,借以達到抽氣目的的真空泵。
氣體捕集泵的工作原理:使氣體分子被吸附或凝結在泵的内表面上,從而減小容器内的氣體分子數目而達到抽氣目的的真空泵。
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