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設備穩定性 |
1、≥0.2um顆粒少于10顆
2、金屬附着量:<3E10 atoms/ cm-
3、純水消耗量: 1L/min/片
4、蝕刻均一性良好(Si0z氧化膜被稀釋HF處理）:名2%
5、幹燥時間:≤20S
6、藥液回收率:≥95% |
單片式優點 |
1、單片處理時間短（相較于槽式清洗機）
單片清洗機
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