真空泵是應用機械、物理、化學、物理化學等方法對容器中進行抽氣，以獲得和維持真空的裝置的氣體輸送機械，它把氣體從低于個大氣壓的環境中保送到大氣中或與大氣壓力相同的環境中。真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，從而使設備内的壓力低于個大氣壓的機器，降低真空室内的氣體壓力，使之抵達要求的真空度。

分類

随着真空應用的發展，真空泵的種類已發展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數百萬升。随着真空技術在生産和科學研究領域中對其應用壓強範圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統共同抽氣後才能滿足生産和科學研究過程的要求。

常用真空泵包括：幹式螺杆真空泵、水環泵、往複泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵等，這些泵是我國國民經濟各行業應用真空工藝過程中必不可少的主力泵種。

真空泵的結構式與傳動方式

真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構：

1：立式結構：進、排氣口水平設置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高，在高速運轉時穩定性差，故這種型式多用于小泵；

2：卧式結構：泵的進氣口在上，排氣口在下。有時為了真空系統管道安裝連接方便，可将排氣口從水平方向接出，即進、排氣方向是相互垂直的。此時，排氣口可以從左或右兩個方向開口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結構重心低，高速運轉時穩定性好。一般大、中型泵多采用此種結構。泵的兩個轉子軸與水平面垂直安裝。這種結構裝配間隙容易控制，轉子裝配方便，泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便，潤滑機構也相對複雜。

真空泵的傳動方式：真空泵的兩個轉子是通過一對高精度齒輪來實現其相對同步運轉的。主動軸通過聯軸器與電機連接。在傳動結構布置上主要有以下兩種：其一是電動機與齒輪放在轉子的同一側如圖。從動轉子由電動機端齒輪直接傳過去帶動，這樣主動轉子軸的扭轉變形小，則兩個轉子之間的間隙不會因主動軸的扭轉變形大而改變，故使轉子之間的間隙在運轉過程中均勻。

這種傳動方式的最大缺點是：

主動軸上有三個軸承，增加了泵的加工和裝配難度，齒輪的拆裝及調整也不便；b.整體結構不勻稱，泵的重心偏向電動機和齒輪箱一側。

所具有的特點：

1：在較寬的壓力範圍内有較大的抽速；

2：轉子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運轉平穩。轉子間及轉子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅動功率，從而可實現較高轉速；

3：泵腔内無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統的污染；

4：泵腔内無壓縮，無排氣閥。結構簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；

5：壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；

6：轉子表面為形狀較為複雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。

工作原理

先由轉動真空泵把系統抽到10-2帕擴散泵油被加熱沸騰，以高速從噴出的油蒸汽流不斷将系統内氣體分子帶到泵的側臂彎管球泡處集結，待氣體密度達到機械真空泵的工作範圍而被抽出，從而逐漸獲得高真空。

1：水環式真空泵工作原理

水環式真空泵葉片的葉輪偏心地裝在圓柱形泵殼内。泵内注入一定量的水。葉輪旋轉時，将水甩至泵殼形成一個水環，環的内表面與葉輪輪毂相切。由于泵殼與葉輪不同心，右半輪毂與水環間的進氣空間逐漸擴大，從而形成真空，使氣體經進氣管進入泵内進氣空間。随後氣體進入左半部，由于毂環之間容積被逐漸壓縮而增高了壓強，于是氣體經排氣空間及排氣管被排至泵外。

2：旋片式真空泵工作原理

旋片式真空泵（簡稱旋片泵）是一種油封式機械真空泵。其工作壓強範圍為101325~1.33×10-2（pa）屬于低真空泵。它可以單獨使用，也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級泵。它已廣泛地應用于冶金、機械、軍工、電子、化工、輕工、石油及醫藥等生産和科研部門。

3：羅茨真空泵工作原理

羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似。由于轉子的不斷旋轉，被抽氣體從進氣口吸入到轉子與泵殼之間的空間 v0 内，再經排氣口排出。由于吸氣後 v0 空間是全封閉狀态，所以，在泵腔内氣體沒有壓縮和膨脹。但當轉子頂部轉過排氣口邊緣，v0 空間與排氣側相通時，由于排氣側氣體壓強較高，則有一部分氣體返沖到空間 v0 中去，使氣體壓強突然增高。當轉子繼續轉動時，氣體排出泵外。

真空泵的好壞決定于其機械結構和油的質量，使用真空泵時必須把它保護好。如果蒸餾揮發性較大的有機溶劑時，有機溶劑會被油吸收結果增加了蒸氣壓，從而降低了抽空效能，如果是酸性氣體，那就會腐蝕油泵，如果是水蒸氣就會使油成乳濁液而抽壞真空泵。

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