真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、産生和維持真空的裝置。

近年來，伴随着我國經濟持續高速發展，真空泵相關下遊應用行業保持快速增長勢頭，同時在真空泵應用領域不斷拓展等因素的共同拉動下，我國真空泵行業實現了持續穩定地快速的發展。

随着真空應用的發展，真空泵的種類已發展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數百萬升。真空技術在生産和科學研究領域中對其應用壓強範圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統共同抽氣後才能滿足生産和科學研究過程的要求。

由于真空應用部門所涉及的工作壓力的範圍很寬，因此任何一種類型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作壓力範圍，隻能根據不同的工作壓力範圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。

為了使用方便和各種真空工藝過程的需要，有時将各種真空泵按其性能要求組合起來，以機組型式應用。

常用真空泵包括幹式螺杆真空泵、水環泵、往複泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵等，這些泵是我國國民經濟各行業應用真空工藝過程中必不可少的主力泵種。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體傳輸泵和氣體捕集泵。

按其性能特點及用途分類可以分為：低真空泵、中真空泵、高真空泵、超高真空泵。

1.低真空泵： 極限壓力高于102Pa的真空泵屬于低真空泵。常見的有往複式真空泵、旋轉式真空泵、液環式真空泵、噴射式真空泵以及吸附式真空泵。

2.中真空泵： 極限壓力在102~10-1Pa的真空泵屬于中真空泵。常見的有羅茨真空泵、多級噴射式真空泵、多級旋轉機械真空泵以及高速旋轉式機械真空泵等。3.高真空泵： 極限壓力在10-1~10-5Pa的真空泵屬于高真空泵。常見的有各種擴散泵及分子泵等。4.超高真空泵：極限壓力低于10-5Pa的真空泵屬于超高真空泵。主要用各種離子泵、低溫泵等。

真空的定義真空系統指低于該地區大氣壓的稀簿氣體狀态。

真空度處于真空狀态下的氣體稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。

真空度單位通常用托（Torr）為單位，國際上取用帕（Pa）作為單位。1托=1/760大氣壓=1毫米汞柱

托與帕的轉換1托=133.322帕　或　1帕=7.5×10-3托

平均自由程作無規則熱運動的氣體粒子，相繼兩次碰撞所飛越的平均距離，用符号“λ”表示。

流量單位時間流過任意截面的氣體量，符号用“Q”表示，單位為帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。

流導表示真空管道通過氣體的能力。單位為升/秒（L/s），在穩定狀态下，管道流導等于管道流量除以管道兩端壓強差。符号記作“U”。U=Q/(P2- P1)

壓力或壓強氣體分子作用于容器壁的單位面積上的力，用“P”表示。标準大氣壓壓強為每平方厘米101325達因的氣壓，符号：（Atm）。

極限真空真空容器經充分抽氣後，穩定在某一真空度，此真空度稱為極限真空。通常真空容器須經12小時煉氣，再經12小時抽真空，最後一個小時每隔10分鐘測量一次，取其10次的平均值為極限真空值。

抽氣速率在一定的壓強和溫度下，單位時間内由泵進氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率，簡稱抽速。即Sp=Q/（P－P0）

冷阱（水冷擋闆）置于真空容器和泵之間，用于吸附氣體或捕集油蒸汽的裝置。

氣鎮閥油封機械真空泵的壓縮室上開一小孔，并裝上調節閥，當打開閥并調節入氣量，轉子轉到某一位置，空氣就通過此孔摻入壓縮室以降低壓縮比，從而使大部分蒸汽不緻凝結而和摻入的氣體一起被排除泵外起此作用的閥門稱為氣鎮閥。

真空冷凍幹燥真空冷凍幹燥，也稱升華幹燥。其原理是将材料冷凍，使其含有的水份變成冰塊，然後在真空下使冰升華而達到幹燥目的。

真空蒸鍍在真空環境中，将材料加熱并鍍到基片上稱為真空蒸鍍，或叫真空鍍膜。

真空幹燥利用真空環境下沸點低的特點來幹燥物品的方法。

真空系統常用名稱①主泵：在真空系統中，用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵，如真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵。

②前級泵：用于維持某一真空泵前級壓強低于其臨界前級壓強的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。

③粗抽泵：從大氣壓下開始抽氣，并将系統壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵，就是粗油泵。

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