光刻膠的作用?光刻膠是一大類具有光敏化學作用(或對電子能量敏感)的高分子聚合物材料,是轉移紫外曝光或電子束曝照圖案的媒介光刻膠的英文名為resist,又翻譯為抗蝕劑、光阻等光刻膠的作用就是作為抗刻蝕層保護襯底表面光刻膠隻是一種形象的說法,因為光刻膠從外觀上呈現為膠狀液體,我來為大家講解一下關于光刻膠的作用?跟着小編一起來看一看吧!
光刻膠是一大類具有光敏化學作用(或對電子能量敏感)的高分子聚合物材料,是轉移紫外曝光或電子束曝照圖案的媒介。光刻膠的英文名為resist,又翻譯為抗蝕劑、光阻等。光刻膠的作用就是作為抗刻蝕層保護襯底表面。光刻膠隻是一種形象的說法,因為光刻膠從外觀上呈現為膠狀液體。
光刻膠通常是以薄膜形式均勻覆蓋于基材表面。當紫外光或電子束的照射時,光刻膠材料本身的特性會發生改變,經過顯影液顯影後,曝光的負性光刻膠或未曝光的正性光刻膠将會留在襯底表面,這樣就将設計的微納結構轉移到了光刻膠上,而後續的刻蝕、沉積等工藝,就可進一步将此圖案轉移到光刻膠下面的襯底上,最後再使用除膠劑将光刻膠除去就可以了。
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