廠務系統功能：
水系統在制程中的功能：
氣體系統在制程中的功能：
化學系統在制程中的功能：
真空系統在制程中的功能：
排氣/排水系統在制程中的功能：
氣體系統使用材質：
化學系統使用材質：
真空系統使用材質：
排氣系統使用材質：
廠務系統流程：
制程冷卻水系統簡略流程：
冰水系統簡略流程：
純水系統簡略流程：
自來水/回收水系統簡略流程：
CDA/GN2/PN2系統簡略流程：
其他大宗氣體/特氣系統簡略流程：
高真空/排氣系統簡略流程：
真空系統簡略流程：
英文縮寫對照：
本文來源于互聯網，作者不詳。暖通南社整理編輯于2017年3月1日。
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