上海微電子裝備有限公司
公司坐落于張江高科技園區内,鄰近國家集成電路産業基地、國家半導體照明産業基地和國家863信息安全成果産業化基地等多個國家級基地。公司成立于2002年,主要緻力于大規模工業生産的投影光刻機研發、生産、銷售與服務,公司産品可廣泛應用于IC制造與先進封裝、MEMS、TSV3D、TFTOLED等制造領域。
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