VLSI是超大規模集成電路的簡稱,幾毫米見方的矽片上集成上萬至百萬晶體管、線寬在1微米以下的集成電路。由于晶體管與連線一次完成,故制作幾個至上百萬晶體管的工時和費用是等同的。
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