一、定義:
平行度指兩平面或者兩直線平行的程度,指一平面或邊相對于另一直線或邊平行的誤差最大允許值。平面度是指基片具有的宏觀凹凸高度相對理想平面的偏差。二、平面度誤差的評定方法有三遠點法、對角線法、最小二乘法、最小區域法四種。
三、平行度評價直線之間、平面之間或直線與平面之間的平行狀态。其中一個直線或平面是評價基準,而直線可以是被測樣品的直線部分或直線運動軌迹,平面可以是被測樣品的平面部分或運動軌迹形成的平面。
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