目前能制造高端光刻機的好像隻有中國,荷蘭(鏡頭來自德國)和日本。光刻機又稱掩模對準曝光機,曝光系統,光刻系統等,一般的光刻工藝要經曆矽片表面清洗烘幹、塗底、旋塗光刻膠、軟烘、對準曝光、後烘、顯影、硬烘、刻蝕等工序。光刻機号稱世界上最精密的儀器,世界上已有7000萬美金的光刻機,堪稱現代光學工業之花,其制造難度之大,全世界隻有少數幾家公司能夠制造。
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