光刻機到底難在哪裡?難在它的制造精度,為了便于形象地解釋,光刻機制造芯片的過程就相當于“沖洗照片”設計好的集成電路的電路圖相當于照片的“拍攝的内容”,晶圓就相當于“相紙”,光刻機的其它機構就相當于與照相機的“鏡頭機構”,下面我們就來聊聊關于光刻機到底難在哪裡?接下來我們就一起去了解一下吧!
難在它的制造精度,為了便于形象地解釋,光刻機制造芯片的過程就相當于“沖洗照片”。設計好的集成電路的電路圖相當于照片的“拍攝的内容”,晶圓就相當于“相紙”,光刻機的其它機構就相當于與照相機的“鏡頭機構”。
不同的是洗照片是将照片放大呈現到相紙上,制造芯片是将設計的集成電路微縮到晶圓上拇指大小的區域内,而且電路的投影精度達到了納米量級。
光刻機的加工過程,光刻機技術發展已經發展到了紫外光階段,我們就以紫外光為例說明。光刻機加工芯片的過程簡單地講就是,光源提供的紫外光照射到刻着電路設計圖的掩模闆上,紫外光透過掩模闆後進入物鏡,物鏡将掩模闆上的電路圖大比例的縮小後,将電路投影到矽片上,這樣矽片上就刻下設計好的電路圖,這個過程中曝光台和測量台處于聯動的狀态。
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