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PECVD是什麼

知識 更新时间:2025-01-23 04:09:55

  等離子體增強化學的氣相沉積法。

  實驗機理:借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。

  優點:基本溫度低;沉積速率快;成膜質量好,針孔較少,不易龜裂。

  缺點:設備投資大、成本高,對氣體的純度要求高;對小孔孔徑内表面難以塗層;沉積之後産生的尾氣不易處理。

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