EDX又名顯微電子探針,是一種分析物質元素的儀器,常與掃描電鏡或者透射電鏡聯用,在真空室下用電子束轟擊樣品表面,激發物質發射出特征X射線,由于不同元素原子的能級結構不同,因此産生特征X射線的特征不同,據此可對樣品進行定性分析定性分析元素周期表中Be以上的物質元素。不同元素在不同位置出現峰,峰的高低代表元素的相對含量大小。
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