二氧化矽抛光試樣-tft每日頭條

二氧化矽抛光試樣

生活更新时间:2024-12-13 16:37:27

化學機械抛光液研究初期主要使用單一磨料，如氧化鋁、二氧化矽、氧化锆等。其中二氧化矽具有良好的穩定性和分散性，不會引入金屬陽離子污染，其硬度與單質矽接近，對基底材料造成的刮傷劃痕較少，适合用于軟金屬，矽等材料的抛光，是應用最廣泛的抛光液，但其材料去除率較低。

二氧化矽抛光試樣（600字迅速掌握氣相二氧化矽在化學機械抛光中的優勢）1

由于氣相法二氧化矽的技術性能指标，其高純度是沉澱法二氧化矽難以達到的，因此目前大多選用氣相二氧化矽制備CMP漿料。由于氣相二氧化矽表面具有一定數量的矽羟基，它們可與水形成氫鍵作用，産生嚴重的增稠作用，如果不對氣相二氧化矽進行表面處理很難制備高濃度的漿料。因此在使用過程中需要對其進行适當的表面處理，降低其增稠度，提高濃度與分散穩定性。

二氧化矽抛光試樣（600字迅速掌握氣相二氧化矽在化學機械抛光中的優勢）2

CMP漿料中納米二氧化矽的粒徑大小、二氧化矽濃度、抛光液的PH、粘度等對其性能影響比較大，研磨粒子的粒徑和濃度過小，研磨速率慢，如果過大，則可能産生劃痕，應選擇粒徑為80nm左右的二氧化矽；漿料的pH值則影響化學腐蝕速率，腐蝕速率太快容易産生霧斑、橘皮等，腐蝕慢容易産生劃痕等，需要研磨速率與腐蝕效率相匹配，一般pH值保持在10-12。此外研磨工藝條件（壓力、速度等）也是一個重要的影響因素。

二氧化矽抛光試樣（600字迅速掌握氣相二氧化矽在化學機械抛光中的優勢）3

随着CMP技術及納米粉體制備技術的發展，CMP技術的應用領域也越來越廣，已知半導體工業中的層間介質、絕緣體、導體、鑲嵌金屬、多晶矽、矽氧化物溝道的平面化拓展薄膜存貯磁盤、微電子機械系統、陶瓷、磁頭、機械磨具、精密閥門、光學玻璃、金屬材料等表面加工領域。目前CMP領域已經成為氣相二氧化矽消費的一大增長點。

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