晶圓是什麼東西?晶圓是指制作矽半導體電路所用的矽晶片,其原始材料是矽高純度的多晶矽溶解後摻入矽晶體晶種,然後慢慢拉出,形成圓柱形的單晶矽矽晶棒在經過研磨,抛光,切片後,形成矽晶圓片,也就是晶圓,今天小編就來聊一聊關于晶圓是什麼東西?接下來我們就一起去研究一下吧!
晶圓是指制作矽半導體電路所用的矽晶片,其原始材料是矽。高純度的多晶矽溶解後摻入矽晶體晶種,然後慢慢拉出,形成圓柱形的單晶矽。矽晶棒在經過研磨,抛光,切片後,形成矽晶圓片,也就是晶圓。
晶圓的主要加工方式為片加工和批加工,即同時加工1 片或多片晶圓。随着半導體特征尺寸越來越小,加工及測量設備越來越先進,使得晶圓加工出現了新的數據特點。同時,特征尺寸的減小,使得晶圓加工時,空氣中的顆粒數對晶圓加工後質量及可靠性的影響增大,而随着潔淨的提高,顆粒數也出現了新的數據特點。
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