系統技術是以微米量級内的設計和制造技術為基礎,研究開發微傳感器、微緻動器以及信号處理和控制電路,直至接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統。微系統可以完成大尺寸機電系統所不能完成的任務、智能化和可靠性提高到一個新的水平。預期未來微系統将是科技上舉足輕重的新領域,具有廣闊的應用前景,也可嵌入大尺寸系統中自動化。
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