SiH4中的si是負四價。
1、矽烷作為一種提供矽組分的氣體源,可用于制造高純度多晶矽、單晶矽、微晶矽、非晶矽、氮化矽、氧化矽、異質矽、各種金屬矽化物。
2、因其高純度和能實現精細控制,已成為許多其他矽源無法取代的重要特種氣體。
3、矽烷廣泛應用于微電子、光電子工業, 用于制造太陽電池、平闆顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層, 并且是迄今世界上唯一的大規模生産粒狀高純度矽的中間産物。
4、矽烷的高科技應用還在不斷出現, 包括用于制造先進陶瓷、複合材料、
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