首先,x射線的波長并不比電子波長短,x射線衍射儀所用的x射線波長都是A量級,而電子波長可以到0.01A量級。第二,x射線不好聚焦,導緻光斑很大,無法進行微區分析,而電子可以很好的控制使其光斑大小達到幾個nm尺度。第三,穿透力強不總是優勢,因為本質上我們要分析射線和物質的作用,并不是越能穿透物質越好。
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