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平面度測量方法

知識 更新时间:2024-06-29 03:24:17

  平面度是指基片具有的宏觀凹凸高度相對理想平面的偏差。平面度測量是指被測實際表面對其理想平面的變動量。

  測量方法:

  1、塞尺測量法。塞尺主要用于間隙間距的測量,對平面度的測量隻能進行粗測。塞尺使用前必須先清除塞尺和工件上的污垢與灰塵。使用時可用一片或數片重疊插入間隙,以稍感拖滞為宜。測量時動作要輕,不允許硬插。由于其精度不高,檢測效率較低,結果不夠全面,隻能檢測零件邊緣。

  2、液平面法。液平面法是用液平面作為測量基準面,液平面由 “連通罐”内的液面構成,然後用傳感器進行測量。基于連通器工作原理,适合測量連續或不連續的大平面的平面度,但測量時間長,且對溫度敏感,僅适用于測量精度較低的平面。

  3、打表測量法。打表測量法是将被測零件和測微計放在标準平闆上,以标準平闆作為測量基準面,用測微計沿實際表面逐點或沿幾條直線方向進行測量。

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