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光栅尺:利用光的幹涉和衍射原理制作而成的傳感器。當兩塊栅距相同的光栅疊放在一起,同時讓線紋構成一微小角度,這時在平行光照射下,與刻線垂直方向上就能看到對稱分布的明暗相間的條紋,稱為莫爾條紋,因此莫爾條紋是光的衍射和幹涉作用的總效果.當光栅移動一個小栅距時,莫爾條紋随之移動一個條紋間距,這樣,我們測量莫爾條紋的寬度就比測量光栅線紋寬度容易的多。
磁栅尺:利用磁極的原理制作而成的傳感器。基尺是被均勻磁化的鋼帶。S和N極均勻間隔排列在鋼帶上,通過讀數頭讀取S,N極的變化來記數。光栅尺受溫度影響較大,一般使用環境在40攝士度以下。敞開式磁栅尺容易受磁場影響,封閉式磁栅尺則無此困擾,但成本較高。
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