四探針測試儀的特點是主機可以配置雙數字表,在測量的時候另一個數字表可以時刻監測測量全程的電流變化,免除了測量電流與電阻率的轉換,可以更加準确的了解電流問題,下面是四探針測試儀測量薄膜的電阻率的相關内容!
半無限樣品上的點流源,如果樣品的電阻性ρ均勻,而引入點流源的探針具有I的電流強度,由此産生的電場具有球形對稱性,即等位基因是以點流為中心的一系列半球面,如圖1所示。在半徑為 r 半球表面上,當前密度 j 分布均勻
半導體技術工藝中普遍可以采用四探針法進行測量信息擴散層的薄層電阻,由于公司反向PN結的隔離保護作用,擴散層下的襯底可視為絕緣層,對于企業擴散層厚度(即結深Xj)遠小于一個探針間距S,而橫向結構尺寸無限大的樣品,
在實際工作中,我們直接測量擴散層的薄層電阻,也稱為方形電阻,它被定義為在電流方向上具有方形表面的半導體薄層的電阻。
以上就是四探針測試儀測量薄膜的電阻率,想了解更多内容可以到晶格電子!
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2023-06-18