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光刻機是幹嘛的

生活更新时间:2024-09-18 21:42:23

光刻機是幹嘛的?光刻機又名掩模對準曝光機、曝光系統、光刻系統等，是制造芯片的核心裝備它采用類似照片沖印的技術，把掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印制到矽片上光刻機的種類可分為：接觸式曝光、接近式曝光、投影式曝光，現在小編就來說說關于光刻機是幹嘛的?下面内容希望能幫助到你，我們來一起看看吧!

光刻機是幹嘛的

光刻機又名掩模對準曝光機、曝光系統、光刻系統等，是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術，把掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印制到矽片上。光刻機的種類可分為：接觸式曝光、接近式曝光、投影式曝光。

光刻機的工作原理是通過一系列的光源能量、形狀控制手段，将光束透射過畫着線路圖的掩模，經物鏡補償各種光學誤差，将線路圖成比例縮小後映射到矽片上。然後使用化學方法顯影，得到刻在矽片上的電路圖。

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